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製品概要

モデル名 　　: AR-SV5.5S-350 (アーム長：850mm)
モデル名　　 : AR-SV6S-450 (アーム長：950mm)
適用環境 　　: 真空、窒素等
主な搬送物　 : 第5.5~6世代ガラス基板

特徴

• 真空中等でFPDガラスを搬送するシングルアームロボット。
• 長いＺ軸ストロークで350mmと450mmまで動作可能。
• 真空シールは特別に作られたメカニカルシールで温度や圧力変化に強い。
• 真空側アームはスチールベルト駆動式で低アウトガス性、低振動性に優れている。
• 各種センサーをアーム内を通してハンドに導入可能。
• アブソリュートエンコーダー式ACサーボモーターを採用。
• コントローラはガラス搬送に最適化されており、煩雑なプログラム作成をせずに標準で用意されている多彩なコマンドだけで搬送動作を実現。
• 装置レイアウトに応じて原点位置とストローク、メカストッパ位置等をあらかじめ設定してあるので装置への組み込みとセットアップが容易。

カスタマイズオプション

• 各種安全規格に準拠した仕様で、安全基準を満たす設計が可能。
• お客様の要望に合わせた搬送ハンドをオーダーメイドで製作し、最適な搬送を実現。
• 装置レイアウトに合わせて、ロボット取付フランジやハンド取り付けブラケット等の変更が可能。
• バッテリレスアブソリュートエンコーダーの対応も可能。