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製品概要

モデル名 : AR-3GW-400, AR-3GW-520, AR-3GW-600 (アーム長：380mm)
適用環境 : クリーンルーム
主な搬送物 : 第3世代ガラス基板

特徴

• クリーンルーム内でFPDガラスを搬送するダブルアームロボット。
• Ｚ軸ストロークは400, 520, 600mm。
• アブソリュートエンコーダー式ACサーボモーターを採用。
• ガラスの保持は真空吸着、クランプ、非接触吸着等の対応可能。
• コントローラはガラス搬送に最適化されており、煩雑なプログラム作成をせずに標準で用意されている多彩なコマンドだけで搬送動作を実現。
• 装置レイアウトに応じて原点位置とストローク、メカストッパ位置等をあらかじめ設定してあるので装置への組み込みとセットアップが容易。

カスタマイズオプション

• 各種安全規格に準拠した仕様も対応可能。
• ご要望に応じた搬送ハンドの製作が可能。
• ロボット取付フランジやハンド取り付けブラケット等を装置レイアウトに合わせて変更することが可能。
• バッテリレスアブソリュートエンコーダー式の対応も可能。
• 原点センサー付き仕様も対応可能。
• ロボット走行軸もロボット制御軸として対応可能。
• ロボット固定方法は底面または上面フランジ、サイドフレームの固定が可能。